電子汽車衡傳感器的微型化和網絡化

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近年來，電子汽車衡傳感器正處于傳統型向新型電子汽車衡傳感器轉型的發展階段。新型電子汽車衡傳感器的特點是微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化，它不僅促進了傳統產業的改造，而且可導致建立新型工業，是21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統（MEMS）技術基礎上的，目前已成功應用在硅器件上形成硅壓力電子汽車衡傳感器（如上述EJX變送器）。微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、LIGA技術（X光深層光刻、微電鑄和微復制技術）、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發展，把電子汽車衡傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。電子汽車衡傳感器的檢測儀表，在微電子技術基礎上，內置微處理器，或把微電子汽車衡傳感器和微處理器及相關集成電路（運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網絡通訊接口電路）等封裝在一起完成了數字化、智能化、網絡化、系統化。網絡化方面，目前主要是指采用多種現場總線和以太網（互聯網），這要按各行業的特點。新型電子汽車衡傳感器的發展還有賴于新型敏感材料、敏感元件和納米技術，如新一代光纖電子汽車衡傳感器、超導電子汽車衡傳感器、焦平面陳列紅外探測器、生物電子汽車衡傳感器、納米電子汽車衡傳感器、新型量子電子汽車衡傳感器、微型陀螺、網絡化電子汽車衡傳感器、智能電子汽車衡傳感器、模糊電子汽車衡傳感器、多功能電子汽車衡傳感器等。